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配件
motic金相顯微鏡

全新的一體化設(shè)計(jì),具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量,方便使用的正像光學(xué)系統(tǒng),是理想的檢測(cè)半導(dǎo)體器件的工具,支持3  種激光波長,可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、冶金等行業(yè)的制 造和研究領(lǐng)域。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

全新的一體化設(shè)計(jì),具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量,方便使用的正像光學(xué)系統(tǒng),是理想的檢測(cè)半導(dǎo)體器件的工具,支持3  種激光波長,可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、冶金等行業(yè)的制 造和研究領(lǐng)域。
描述
●  人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉(zhuǎn)動(dòng),調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適。
●  管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡,三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換,切換簡(jiǎn)單、方便。其  中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長進(jìn)行了優(yōu)化,1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長進(jìn)行了優(yōu)化,當(dāng)使用這3個(gè)波長的激光器  時(shí),可以得到更好的激光透過率。
●  光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí),雙目頭和攝像接口的分光比為0:100,  此時(shí)從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路,提高了激光效率;當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí),雙目頭和攝像接口的分  光比為50:50,此時(shí)即可用雙目頭觀察,同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
●  偏光觀察
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進(jìn)行偏光觀察。
●  調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適,工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)最大可承載45磅(20.4Kg),確保安裝激光器和CCD攝像頭后,  仍然能夠正常工作。
●  轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器,使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙,可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
●  物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡,提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物  鏡樣本。
●  數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,安裝在攝像接口上,組成數(shù)碼攝像系統(tǒng),就可以在電  腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。
●  照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng),光源采用外置冷光源。長達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的  操作空間。
●  探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上,進(jìn)行硅片的測(cè)試。
●  激光裝置

PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷,雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,并提供補(bǔ)償墊片。無需專  用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。


注:在安裝和使用激光器之前,請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和  激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問題,深圳市森東寶科技有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。


規(guī)格說明

鉸鏈?zhǔn)?/span>

三目頭

圖像

正像

瞳距

調(diào)節(jié)范圍 55-75mm

視場(chǎng)直徑

24mm

分光比

可通過光路切換拉桿自由切換(雙目頭:第三目=100:0或50:50)

主體

管鏡

1X(可對(duì)紫外及紅外線進(jìn)行優(yōu)化),2X

激光的使用

拉出光路切換拉桿即可

可應(yīng)用的激光

1064/532/355 nm NWR laser

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

粗微調(diào)手輪

調(diào)焦行程:50mm;粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn);微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn)

調(diào)焦機(jī)構(gòu)最大承重量

20.5kg

攝像接頭

C-Mount接頭

照明系統(tǒng)

同軸垂直照明,可變孔徑光欄

冷光源(選配)

150W冷光源照明器及工業(yè)顯微鏡光纖(2m)

物鏡轉(zhuǎn)換器

四孔物鏡轉(zhuǎn)換器,中心可調(diào),可拆卸

目鏡

10X

物鏡

長工作距離平復(fù)消色差物鏡

2X, 5X, 10X, 20X, 50X(選配)

重量

主體:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg

與探針臺(tái)搭配圖:


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