CINDBEST CRX| 閉循環(huán)低溫探針臺測試系統(tǒng)
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特點/應(yīng)用
◆ 2英寸樣品臺
◆樣品臺電學(xué)獨立懸空，引出三同軸接口
◆ 溫度范圍：4.5K-350K
◆ 6個探針臂接口
◆ 樣品臺振動精度≤1um
◆ 射頻臂可支持頻率范圍DC~110GHz
◆ 循環(huán)電制冷，無需制冷劑
◆ 允許非監(jiān)督降溫 ◆ 高效的降溫時間
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◆ 腔體規(guī)格：
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型號 |
CRX-10K/CRX-4.5K |
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樣品臺尺寸 |
2英寸 |
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樣品固定 |
彈簧壓片 |
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觀察窗口 |
50mm |
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真空度 |
3*10-5(Torr) |
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探針臂接口 |
最多6個探針臂接口 |
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其他接口 |
電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
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制冷方式 |
制冷機 |
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溫度范圍 |
10K到350K/4.5K到350K |
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溫控精度 |
0.1K/0.01K/0.001K |
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穩(wěn)定性 |
<10K@±50mK,10K到100K@±10mK 100K到300K@±10mK |
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外形 |
872mmW*962mmD*1400mmH |
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重量 |
約130千克 |
◆ 光學(xué)系統(tǒng)：
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顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移動行程 |
水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm |
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光源 |
同軸光源 |
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CCD |
200萬像素/1200萬像素 |
◆ 探針臂：
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X-Y-Z移動行程 |
25mm*70mm*15mm |
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結(jié)構(gòu) |
外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu) |
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移動精度 |
2微米 |
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線纜 |
同軸線/三軸線/射頻線 |
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漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探針 |
螺絲固定 |
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接頭類型 |
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
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頻率支持 |
DC-67GHZ |
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針尖直徑 |
10um/20um/50um |
◆ 其他組件：
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真空組件 |
分子泵組 |
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冷源組件 |
制冷機 |
◆ 可選附件
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超高溫配件 |
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顯示器 |
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轉(zhuǎn)接頭 |
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射頻測試配件 |
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屏蔽箱 |
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光學(xué)平臺 |
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鍍金卡盤 |
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光電測試配件 |
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高壓測試配件 |
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分子泵組 |
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激光系統(tǒng) |
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氣敏測試配件 |
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