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探針臺
CL-6系列中端探針臺

CL系列探針臺可兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動

可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用。

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CINDBEST CL-4 | 4~8" 精密I-V測試測量探針臺系統(tǒng)



特點 / 應(yīng)用

  • 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等.

 

  • 最大可用于8英寸以內(nèi)樣品測試

 

  • 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動

 

  • 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動

 

  • 可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用



CL-6探針臺,晶圓測試探針臺

 

◆臺體規(guī)格
尺寸 4英寸/6英寸/8英寸
水平旋轉(zhuǎn) 可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸
X-Y移動精度 10微米/1微米
樣品臺Z軸調(diào)節(jié) 可升降10mm
樣品固定 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)
針座平臺 U型針座平臺,最多可放置6個探針座
背電極測試 樣品臺電學(xué)獨立懸空,4mm插孔可接背電極
外形尺寸 400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高
重量 約40千克/60千克
◆光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率 16X-200X/20X-4000X
移動行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm
光源 外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD 200萬像素/500萬像素/1200萬像素
◆探針座
X-Y-Z移動行程 12mm*12mm*12mm
移動精度 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式 磁力吸附/真空吸附
線纜 同軸線/三軸線
漏電精度 10pA/100fA/10fA
固定探針 彈簧固定/管狀固定
接頭類型 BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質(zhì) 鎢鋼/鈹銅
◆可選附件
加熱臺
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺
鍍金卡盤
光電測試配件
高壓測試配件
顯微鏡快速傾仰裝置
激光系統(tǒng)
探針卡夾具


 

PS:探針臺可根據(jù)客戶要求定制。

規(guī)格及設(shè)計如有更改,恕不另行通知。




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