BG-401A曝光機(jī)
技術(shù)協(xié)議
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此協(xié)議為
合同的銷售技術(shù)協(xié)議。
BG-401A曝光機(jī)主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)
及曝光。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高、重復(fù)性好，并具有較高的性能價格比，可廣
泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。
1、設(shè)備組成
該設(shè)備主要由對準(zhǔn)工作臺、紫外
光曝光系統(tǒng)、分離視場顯微鏡及其掃
描機(jī)構(gòu)、電氣控制系統(tǒng)、汞燈電源系
統(tǒng)和調(diào)平桌架組成。整機(jī)體積小、占
地面積少、外形美觀大方。
1) 對準(zhǔn)工作臺具有 X、Y、θ和 Z
向調(diào)整，同時 Z向抬升機(jī)構(gòu)具
有粗、微調(diào)旋鈕手柄。采用真
空復(fù)印功能、基片底部吹氣功
能，提高基片線條的曝光質(zhì)量和線條分辨率。
2) 紫外光曝光系統(tǒng)，采用了柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等光學(xué)鏡
組形成多點(diǎn)光源，再經(jīng)場鏡、聚光鏡后多點(diǎn)光源形成的多束光均勻的疊加在
曝光工作面上。
3) 分離視場顯微鏡便于觀察和對準(zhǔn)，在 X、Y向可進(jìn)行大范圍掃描觀察，既可
進(jìn)行兩個標(biāo)記的同時對準(zhǔn)，又可進(jìn)行單視場或雙視場切換，提高對準(zhǔn)效率和
套準(zhǔn)精度。可兼容 CCD成像觀察系統(tǒng)。
4) 電氣控制系統(tǒng)采用進(jìn)口可編程控制器（PLC）、漢字 LCD顯示屏，響應(yīng)快、
可靠性高；中文界面，具有運(yùn)行狀態(tài)提示，便于用戶操作。
5) 250W超高壓汞燈電源，顯示汞燈的工作電壓和電流。具有觸發(fā)簡單，可靠合同編號：
履行地點(diǎn)：河北 燕郊
簽訂日期：
地址：北京東燕郊開發(fā)區(qū)海油大街 253號
電話：010-61597089
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性高的特點(diǎn)。
2、技術(shù)特點(diǎn)
1) 對準(zhǔn)工作臺 X、Y向正交性好，θ旋向平穩(wěn)， Z向調(diào)節(jié)可適用于不同厚度的
基片。對準(zhǔn)精度高，速度快，漂移小。
2) 紫外光曝光系統(tǒng)具有光能利用率高，光強(qiáng)度高，光強(qiáng)分布均勻的特點(diǎn)。
3) 顯微鏡像質(zhì)清晰，觀察舒適。用戶可以對物鏡倍率進(jìn)行選配。
4) 該機(jī)的關(guān)鍵件引進(jìn)日本 THK、IKO公司的高質(zhì)量、高精密的產(chǎn)品，氣動元件
采用 SMC的產(chǎn)品，提高了產(chǎn)品的穩(wěn)定性、使用壽命等。
5) 采用模塊化結(jié)構(gòu)，配置靈活。可根據(jù)用戶的要求提供不規(guī)則基片或碎片的專
用掩模版架以及承片臺等，最大限度滿足用戶個性化要求。
3、技術(shù)指標(biāo)
性能名稱
技術(shù)指標(biāo)
備注
適用基片尺寸
φ4″（φ100mm）
適用掩模版尺寸
5″（125×125mm）
工作臺行程
Ｘ向
±5mm
Y向
±5mm
Z向
3mm
θ向
±12°
基片與掩模版分離間隙
0～0.05mm
對準(zhǔn)精度
±1um
分離視場
顯微鏡
目鏡
10×
物鏡
10×
物鏡分離距離
28～90mm
掃描范圍
50×50mm
調(diào)焦范圍
8mm
曝光光源
250W進(jìn)口超高壓汞燈
光強(qiáng)
≥15mW/cm2
曝光面積
φ108mm
曝光分辨率
1.5um（真空接觸）
曝光不均勻性
±3%
曝光時間
0～999s合同編號：
履行地點(diǎn)：河北 燕郊
簽訂日期：
地址：北京東燕郊開發(fā)區(qū)海油大街 253號
電話：010-61597089
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整機(jī)功率
1000W
整機(jī)外型尺寸（長×寬×高）
740×830×1300mm
4、BG-401A曝光機(jī)在包裝時包括
1) BG-401A曝光機(jī)主機(jī)
1臺
2) 250W汞燈電源
1臺
3) 4英寸承片臺
1個
4) 5英寸掩模版架
1個
5) 10×目鏡
1對
6) 10×物鏡
1對
7) 250W汞燈
1個
5、使用環(huán)境要求
電源：
220V±11V/50Hz
室內(nèi)環(huán)境：
100級凈化
室內(nèi)光線：
紅光或黃光
相對濕度：
40%～60%
壓縮空氣：
0.5～0.7Mpa(配置Φ6PU管的快速接頭)
氮?dú)猓∟2）：0.2~0.4MPa (配置Φ6PU管的快速接頭)
真空：
-0.08～-0.1Mpa (配置Φ4PU管的快速接頭)
無影響機(jī)器正常工作的振動（參照《微電子生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)
范》），無強(qiáng)磁輻射。
