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◆卡盤平臺(tái)參數(shù)規(guī)格：

卡盤 XY軸

行程范圍	≥360 x 420mm
分辨率	0.1 μm
定位精度	≤±2.0μm
重復(fù)精度	≤±1.0 μm
XY級(jí)驅(qū)動(dòng)器	閉環(huán)高精度步進(jìn)電機(jī)
最高移動(dòng)速度	≥70mm/s

卡盤 Z軸

行程范圍	≥20mm
分辨率	0.1μm
定位精度	≤±2.0 μm
重復(fù)精度	≤±1.0 μm
Z級(jí)驅(qū)動(dòng)	閉環(huán)高精度步進(jìn)電機(jī)
最高移動(dòng)速度	≥20mm/s

*速度是瞬時(shí)速度，而不是平均速度。移動(dòng)時(shí)有加速和減速時(shí)間。

卡盤 旋轉(zhuǎn)軸

行程范圍	≥15°
分辨率	0.0001°
定位精度	≤±2.0μm (在300 mm卡盤的邊緣測量)
重復(fù)精度	≤±1.0μm
Theta級(jí)驅(qū)動(dòng)	閉環(huán)高精度步進(jìn)電機(jī)

◆顯微鏡平臺(tái)參數(shù)規(guī)格：

顯微鏡XY軸

XY行程范圍	50x50mm
分辨率	1μm
定位精度	≤±5.0μm
重復(fù)精度	≤±2.0μm

顯微鏡Z軸

XY行程范圍	120mm
分辨率	0.1μm
定位精度	≤±2.0μm
重復(fù)精度	≤±1.0μm

◆探針臺(tái)臺(tái)面板：

材料	鍍鎳鋼
臺(tái)面板尺寸	880*940mm
探針座安裝定位	磁吸座/真空吸座
多探針座布局	12個(gè)直流探針座或4個(gè)直流+ 4個(gè)射頻探針座布局
高低溫?zé)崤蛎浱幚?/span>	隔熱系統(tǒng)與氣流對(duì)流方式

◆腔體屏蔽性能

屏蔽類型	卡盤周圍完全黑暗
屏蔽方式	法拉第籠
EMI屏蔽	≥ 30 dB 0.5-20 GHz
頻譜本底噪聲	≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
系統(tǒng)交流噪聲	≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)
光衰減	≥130dB

◆顯微鏡系統(tǒng)

連續(xù)變倍范圍	0.58X-7.5X連續(xù)變倍
CCD	500萬像素分辨率1920*1200幀率40fps
物鏡	1X，2X，5X，10X
放大倍率	140X-1818X（5X物鏡）

◆XY手輪：

手輪分辨率	1000線
作用	方便的調(diào)節(jié)下針位置

◆晶圓加載

加載方式	手動(dòng)加載
拉出范圍	≥80%
拉出盒鎖定方式	氣缸鎖緊
頂PIN	可選
門鎖	運(yùn)動(dòng)時(shí)無法打開

◆卡盤：

尺寸	≥300mm（可選200mm卡盤）
溫度	-60-300℃（-60-300℃，常溫，常溫-200/300℃可選）
類型	同軸/三軸/大功率
晶圓固定方式	真空吸附
吸附范圍	0、48、96、192mm/ 多孔吸附（適用薄片）
接線方式	BNC/三軸開爾文接線
平面度	≤10um@25℃（補(bǔ)償后）

◆升降溫時(shí)間（12寸）

升溫時(shí)間

-60℃-25℃	≤10min
25℃-200℃	≤25min
200℃-300℃	≤25min
降溫時(shí)間
25℃- -60℃	≤50min
200℃-25℃	≤20min
300-25℃	≤25min

◆軟件解決方案:

Auto align	自動(dòng)水平調(diào)整
Wafer map	自動(dòng)生成map圖
Auto XYZ	視覺補(bǔ)償，適應(yīng)切片后不等間距測試
Bin值	對(duì)產(chǎn)品等級(jí)進(jìn)行區(qū)分
打點(diǎn)	Wafer上標(biāo)記壞點(diǎn)
Focus	顯微鏡自動(dòng)聚焦在最清晰畫面
測試軟件	對(duì)測試機(jī)與探針臺(tái)進(jìn)行互聯(lián)測試，保存測試結(jié)果等

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