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深入了解中端探針臺及其關鍵技術參數
2024-03-045080
深入了解中端探針臺及其關鍵技術參數

中端探針臺包括多種型號,其中比較典型的是CL-6系列中端探針臺。CL-6系列中端探針臺有4英寸、6英寸和8英寸三種規格,適用于不同尺寸的樣品測試。

關于CL-6系列中端探針臺的技術參數,主要包括以下幾個方面:

臺體規格:臺體尺寸為4英寸、6英寸或8英寸,可根據需要選擇適合的尺寸。

水平旋轉:臺體可360度旋轉,微調范圍為15度,精度為0.1度,并帶有角度鎖死裝置,以確保測試的穩定性。

X-Y移動行程:X-Y軸移動行程為4英寸×4英寸或6英寸×6英寸,可根據需要選擇適合的行程范圍。

X-Y移動精度:X-Y軸移動精度為10微米或1微米,可根據需要選擇適合的精度等級。

樣品臺Z軸調節:樣品臺可升降10mm,方便調節樣品高度。

樣品固定:樣品臺采用真空吸附、中心孔吸附或多圈吸附環等方式固定樣品,確保樣品在測試過程中的穩定性。

針座平臺:U型針座平臺可容納最多6個探針座,方便進行多點測試。

背電極測試:樣品臺電學獨立懸空,可通過4mm插孔接入背電極進行測試。

此外,CL-6系列中端探針臺還具有多種光學系統配置可選,包括單筒顯微鏡、體式顯微鏡、金相顯微鏡等,放大倍率從16X到4000X不等,可根據需要選擇適合的顯微鏡類型和放大倍率。同時,該探針臺還配備了外置LED環形光源或同軸光源,以及200萬像素、500萬像素或1200萬像素的CCD等圖像處理設備,以提高測試的精度和效率。

需要注意的是,以上技術參數僅為CL-6系列中端探針臺的典型配置,實際參數可能因具體型號和用戶需求而有所不同。因此,在選擇探針臺時,建議根據具體的應用需求和測試要求來選擇合適的型號和技術參數。

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