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CS-4和CS-6探針臺的技術參數比較如下：

CS-4探針臺：

· Chuck尺寸：4英寸

· 水平旋轉：可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

· XY移動行程：4英寸*4英寸

· X-Y移動精度：10um

· 樣品臺Z軸調節：可升降8mm

· 樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環

· 針座平臺：U型針座平臺，最多可放置6個探針座

· 背電極測試：樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極

· 顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡

· 放大倍率：16X-100X

· 移動行程：水平方向繞立柱360度旋轉，Z軸50.8mm

· 光源：外置LED無極調節亮度環形光源

· CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

· XY-Z移動行程：12mm12mm12mm

· 移動精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um

· 吸附方式：磁力吸附/真空吸附

· 線纜類型：同軸線/三軸線/射頻線

· 漏電精度：10pA/100fA/10fA

· 固定探針方式：彈簧固定/管狀固定

· 接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口

· DC針尖直徑：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um

· RF探針頻率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz

· 材質：鎢鋼/鈹銅/鍍鎳

· 外形尺寸：400mm長400mm寬500mm高

· 重量：約25千克

· 可選附件包括加熱臺、屏蔽箱、顯示器、防震桌、轉接頭、鍍金卡盤、射頻測試配件和光電測試配件等。

CS-6探針臺：

· Chuck尺寸：6英寸

· 水平旋轉：可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

· XY移動行程：4英寸*4英寸

· X-Y移動精度：10um

· 樣品臺Z軸調節：可升降8mm

· 樣品固定方式：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環

· 針座平臺：U型針座平臺，最多可放置6個探針座

· 背電極測試方式：樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極

· 顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡